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  • 超臨界氣體測量與控制
    欄目:半導體 發布時間:2021-09-01

    最初,熱式質量流量計和控制器是在1970年代為半導體制造過程中的氣相沉積而開發的。由于市場需求以及在氣體、液體和蒸汽輸送方面引進新的更好產品的需要,Bronkhorst稱為半導體、平板顯示器和LED行業的主要供應商。針對化學氣相沉積(CVD)、平板顯示器噴涂(FPD)和原子層沉積(ALD)工藝,Bronkhorst可為直接液體注入系統提供金屬密封流量儀表。

    Bronkhorst產品應用:臨界流體定量給料和控制(如超臨界二氧化碳清洗


    Bronkhorst工藝流程圖:









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